1. 海立股份（600619）光刻机冷却系统龙头

业绩预告：中报净利润预增625.83%~756.71%

核心突破：与上海微电子达成战略合作，成功研发光刻机专用冷却系统

技术壁垒：精密温控技术达±0.01℃精度，首批产品已通过验证

2. 凯美特气（002549）电子特气领军者

业绩预告：中报净利润预增180.44%~212.61%

稀缺资质：国内唯一通过ASML认证的光刻气供应商

产能布局：电子特气项目二期投产，KrF/ArF光刻气纯度达6N级

3. 瑞联新材（688550）光刻胶单体专家

业绩预告：中报净利润预增69.93%

产品矩阵：开发光刻胶单体200余种，覆盖KrF/ArF/EUV全品类

客户生态：进入东京应化、JSR等国际大厂供应链

4. 江丰电子（300666）靶材与光刻机部件双轮驱动

业绩预告：中报净利润预增53.29%~65.70%

技术突破：28nm以下节点光刻机冷却部件量产

市场地位：全球溅射靶材市占率突破15%

5. 圣泉集团（605589）光刻胶树脂核心供应商

业绩预告：中报净利润预增48.16%~75.08%

关键材料：PPB级高纯酚醛树脂打破日美垄断

应用进展：已通过中芯国际28nm工艺验证

6. 兴业股份（603928）光刻胶树脂专家

业绩亮点：半导体用酚醛树脂产能翻倍

技术储备：开发EUV光刻胶用树脂体系

7. 普利特（002324）显示光刻机突破者

创新成果：完成TFT光刻机国产化研发

产能规划：在建半导体厚膜胶产线年内投产

8. 晶方科技（603005）封测与光刻机部件双主业

技术协同：Anteryon光学器件应用于ASML设备

市场拓展：晶圆级封装市占率全球第二

9. 鼎龙股份（300054）全栈式材料供应商

产品布局：20余款KrF/ArF光刻胶量产

研发进展：7nm节点光刻胶进入客户验证